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    三次元測量儀的垂直度用兩個垂直于基準平面的平面，夾被測平面的所有點，其最小距離就是垂直度，這種直接測面與面的垂直度的方法不能直接從結果中看出被測面的情況，有以下兩種方法：
　　影像測量儀用基準平面建立坐標系的坐標平面，在被測平面上測一條線和點，建立一個輔助坐標系。然后在被測平面上測點，根據點的坐標值可以看出面與基準面指定方向上的形狀與變形情況。
　　三次元用測量線的方法，因測量面的垂直度是一個空間的關系，在遇到窄平面的情況時測量不準確，而且重復性不好，在兩個平面上各測幾條線，分別投影到與這兩個平面垂直的平面上，分別計算垂直度或夾角，可以看出平面是否扭曲，取其中垂直度數值最大的值為平面的垂直度誤差。

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