TKSCT氣體過濾器系列有:
哈式合金氣體過濾器
不銹鋼氣體過濾器
PTFE氣體過濾器
IGS氣體過濾器
陶瓷氣體過濾器  
材質(zhì)結(jié)構(gòu)
超高純在線式過濾器  ■哈式合金氣體過濾器全哈氏合金結(jié)構(gòu)  ■ 高溫及動態(tài)壓力測試  ■ 不銹鋼氣體過濾器全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)  ■ 尺寸緊湊，可變的末端連接  ■ PTFE氣體過濾器濾芯為PTFE材質(zhì),本體材質(zhì)為316L，內(nèi)部電解拋光 ■ IGS氣體過濾器具有高可靠性耐沖擊和震動 ■陶瓷氣體過濾器內(nèi)部為316L 電解拋光處理  廣泛應(yīng)用于化學(xué)品行業(yè)
 產(chǎn)品特性 
? 流量大，12-800SLPM 
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金，適用于惰性氣體及腐蝕性強(qiáng)的氣體
? 卓越的性能滿足大多數(shù)半導(dǎo)體工藝氣體
? PTFE材料具備良好的抗腐蝕性能及兼容性 
? 過濾等級為0.0025μm，即使在高流速的情況下，也不會引起出口端壓力的下降 
? 內(nèi)部拋光等級為5Ra，防止其內(nèi)部污染 
? 通過高溫氮?dú)饧叭ルx子水清潔，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn) 
? 清潔及包裝在100級潔凈室內(nèi) 
? 100%氦氣檢測