薄膜測量儀器 >> 薄膜在線監(jiān)測控制儀器 >> 溫度與薄膜厚度測量監(jiān)測器

薄膜測量儀器 >> 薄膜在線監(jiān)測控制儀器 >> 溫度與薄膜厚度測量監(jiān)測器 產(chǎn)品編號：841482816產(chǎn)品名稱：溫度與薄膜厚度測量監(jiān)測器規(guī)格：產(chǎn)品備注：產(chǎn)品類別：薄膜測量儀器    產(chǎn)品說明Eon-LT?溫度與薄膜厚度測量監(jiān)測器是一個(gè)基于電腦的薄膜厚度監(jiān)測器，遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于優(yōu)于傳統(tǒng)的監(jiān)測器，傳統(tǒng)的監(jiān)測器無法感知晶體的熱變化。本監(jiān)測器是把頻率和溫度測量相結(jié)合，在實(shí)時(shí)速率和薄膜厚度監(jiān)測方面可獲取從來沒有的精度。 為什么要測量溫度？因?yàn)榧訜徇^程導(dǎo)致晶體的頻率變化，毫無疑問等于鍍膜引起的頻率變化，對大多數(shù)速率測量，在正常操作會存在10%的誤差，最糟糕的情況，會產(chǎn)生100%的誤差。如果你的測量總是出錯(cuò)，那就是我們?yōu)槭裁匆肊on-LT?溫度測量薄膜厚度監(jiān)測器來測量。 特點(diǎn)：●附加精密的溫度測量●與最新、直觀的Eon?軟件通信● 與相應(yīng)的速率和厚度相伴的實(shí)時(shí)溫度和頻率的測繪圖●支持擋板的接通和斷開● 通信：RS-232，USB，和WiFi● 雙通道擴(kuò)展能力●包括所有的連接電纜、軟件和操作手冊●驅(qū)動晶體6MHz，1-200Ω，任何類型（石英、超級石英）●兩個(gè)K型熱電偶輸入，精確到+/-0.25°C●兩個(gè)高分辨?zhèn)鞲蓄^，輸入精度達(dá)到0.001Hz●24V電源●工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的RS232通信協(xié)議●尺寸：4.5英寸x2.5英寸x1英寸●兩個(gè)用戶可選的傳輸口●LED狀態(tài)指示 技術(shù)參數(shù)：MeasurementFrequencyResolution0.001HZ@6MHz(1SampleperSecond)SampleRate100Hzto10HzDisplayUpdateRate10Hz-1HzSensorCrystalFrequency6MHzElectronicsTemperature2typeKTCSources20-5VDCsourcecontrolsRelays(non-programmable)2SPSTNOforabort&thicknesssetpointRemotePowerFrontpanelFOBconnectorformanualpowercontrolInputsetupInputscantriggereventsdependingonuserselectedconditionsOutputSetupOutputscanbetriggereddependingonuserselectedconditionsLED(s)DualstatusCommunicationProtocolCommunicationstatusPower-upstatusRS-232DACRecorderEitherorbothsourceoutputscanbeusedasrecorderoutputsParametersUserscalable0-5Voutputforrateandthickness Dimensions4.5”x2.5”x1”OrderingInformationEon-LT?PC-interactivethinfilmmonitor 應(yīng)用：●原子層沉積(ALD)●化學(xué)氣相沉積(CVD)●分子束外延(MBE)●CIGS(薄膜太陽電池)●OLED●多層光學(xué)薄膜沉積